原因
オーバレイ処理中に、作業用ディレクトリのドライブのディスクの空き容量が不足していることが考えられます。
対処方法
以下の作業用ディレクトリのドライブのディスクの空き容量を増やしてください。
【Windows版】の場合List Creatorの環境設定で指定した作業用ディレクトリ
【Solaris版】の場合/var/tmp
【Linux for Itanium/Linux for Intel64版】の場合/tmp